Machbarkeitsstudie zur Entwicklung eines FeuchteSensor-Arrays in Silizium (MASA)

Forschungsprojekt

In diesem Projekt wurde der Prototyp eines Spurenfeuchte-Messgerätes (SF-MG) für inerte Gase im Feuchte-Konzentrationsbereich von 0,1 bis 1000 Vol.-ppm für den Labor- und Industrieeinsatz entwickelt.

Projektlaufzeit

01.03.2014 - 30.06.2014

Projektleitung

Mittelgeber

Analytical Control Instruments GmbH

Förderprogramme

Auftragsforschung