Kern der Arbeiten der Kooperationspartner bildete die Entwicklung eines neuen Verfahrens zur Erzeugung bondbarer Glasschichten mit spezifischer Schichtdicke auf Siliziumwafern, die einerseits die Realisierung eines ausschließlich auf Silizium und Glas basierenden technologischen Ansatzes für die Herstellung von MEMS-Komponenten ermöglicht und andererseits die Basis beziehungsweise die Voraussetzung bildet, derartige Bauelemente mit den avisierten Spezifikationen und Leistungsmerkmalen erzeugen zu können.

Zum Zwecke einer späteren Kommerzialisierung der Entwicklungsergebnisse ist die Entwicklung eines Si-Drucksensors, dem ein großes Markpotential gegenübersteht, wichtiger und integraler Bestandteil des Vorhabens.

Dieser Teil des Entwicklungsvorhabens sollte es ermöglichen, die Vorzüge des neu entwickelten Verfahrens optimal in einer Produktlösung umzusetzen.

Ziel war es in diesem Zusammenhang solche Glasschichten zu erzeugen, deren Alkalimobilität durch eine noch zu definierende, optimale Prozessführung begünstigt wird, so dass zuverlässige Fügungen zwischen den Bondpartnern auch bei niedriger Temperatur erreicht werden können.

• Prof. Dr.-Ing. Ha Duong Ngo (Projektleitung)

• M.Sc. Xiaodong Hu (Projektmitarbeiter_in)

Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWi)

ZIM Zentrales Innovationsprogramm Mittelstand