Das ultimative Ziel dieses Projekts ist es, geeignete SiCOI Substrate für Realisierung von skalierbaren Einzelphotonenquellen (Farbzentren/SPS) in SiCOI mit hoher Effizienz, Rauheit (<1nm), Reinheit (Verunreinigung weniger als 10^14/cm3) und Unterscheidbarkeit zu erzielen, indem Farbzentren, welche in Raumtemperatur stabil funktionieren, kombinieren mit hoher Güte und abstimmbaren optischen Kavitäten.

• Prof. Dr.-Ing. Ha Duong Ngo (Projektleitung)

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