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Laser patterning of thin films Artikel › Journalartikel › 2019 Zitation Artikel Stegemann, Bert; Schultz, Christof: Laser patterning of thin films. In: digital Encyclopedia of Applied Physics 1. (2019), S. 1-30. ISSN 9783527600434 DOI / URN DOI 10.1002/3527600434.eap830 Zitieren BibTeX / RIS