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Liquid-free SOI-based piezoresistive pressure sensor for measurement up to 400°C Konferenzbeitrag › Konferenzpaper › 2012 Zitation Konferenzbeitrag Full Paper Ngo, Ha Duong: Liquid-free SOI-based piezoresistive pressure sensor for measurement up to 400°C. . Hg. von IEEE. Taichung, Taiwan: 2012, S. 100-114. Zitieren BibTeX / RIS