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Electronic properties of ultra-thin silicon oxides: Effect of silicon substrate pre-treatment and layer deposition processes Veranstaltungsbeitrag › Posterpräsentation › 2010 Veranstaltung Tag der Chemie des Verbandes der Chemischen Industrie (VCI) 2010 Freie Universität Berlin, Berlin, 16.06.2010 Ergänzende Angaben Poster E. Malguth, O. Gref, A. Schöpke, H. Angermann, B. Stegemann