Quantitative Roughness Analysis of Textured Silicon Wafers

Veranstaltungsbeitrag › Posterpräsentation › 2011

Veranstaltung

Tag der Chemie des Verbandes der Chemischen Industrie (VCI) 2011
Humboldt-Universität Berlin, 13.07.2011

Ergänzende Angaben

Poster B. Stegemann, J.J. Merkel, C. Köhler, C. Wagner, M. Ebert, J. Schaff, D. Haier, A. Goblirsch, G. Plessmann, A. Kraft, K.-D. Wustig, H. Angermann