Comparison of different oxidation techniques for the preparation of high-quality tunnel oxide layers on crystalline silicon wafers
Veranstaltungsbeitrag › Posterpräsentation › 2015
Veranstaltung
Florenz, 23.11.2015 - 26.11.2015
Ergänzende Angaben
Zugehörige Publikationen
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Comparison of different oxidation techniques for the preparation of high-quality tunnel oxide layers on crystalline silicon wafers
Konferenzbeitrag › Konferenzpaper › 2015